Trong pha rắn SeO3 bao gồm các tetramers tuần hoàn, có 8 vòng liên kết (Se-O)4. Các nguyên tử selen có 4 tọa độ, độ dài liên kết là Se-O cầu nối là 175 pm và 181 pm, không cầu nối 156 và 154 pm[5].

SeO3 trong pha khí bao gồm tetramers và monomeric, SeO3 là mặt phẳng ba chiều có chiều dài liên kết Se-O là 168.78 pm[6].